Взорвали плазму — получили прорыв: как Россия обходит санкции в микроэлектронике

В Новосибирске учёные создали установку, генерирующую стабильную плазму с экстремальным ультрафиолетовым излучением — ключевой элемент для производства современных микросхем. Это открытие может стать основой для отечественных литографов нового поколения, критически важных в условиях санкций.

Уникальность технологии — в квазистационарной плазме, которую удаётся удерживать в компактном объёме с помощью импульсно-периодического излучения. Сейчас учёные работают над увеличением мощности системы в 2-4 раза, используя модернизированный лазер на свободных электронах.

Перспективы впечатляют: такие установки можно применять не только в микроэлектронике, но и в космосе — плазма формируется в виде узкого пучка, что позволяет передавать энергию на расстояние. Это настоящий прорыв, способный изменить правила игры в глобальной технологической гонке.